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  1. 1994
  2. Veröffentlicht

    Surface roughness reduction in Atomic Layer Epitaxy growth of titanium dioxide thin films

    Prohaska, T., Ritala, M., Leskelä, M., Niinistö, L., FRIEDBACHER, G. & GRASSERBAUER, M., 1994, in: Thin solid films. S. 155-162

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

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