Room-Temperature Deposition of DLC Films by an Ion Beam Method, Reactive Magnetron Sputtering and Pulsed Laser Deposition: Process Design, Film Structure and Film Properties
Publikationen: Thesis / Studienabschlussarbeiten und Habilitationsschriften › Dissertation
Autoren
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Abstract
Ziel der Doktorarbeit war die Prozessentwicklung von Physikalischen Dampfphasenabscheidungverfahren und die Untersuchung der Struktur/Eigenschaften-Zusammenhänge von bei Raumtemperatur (
Details
| Titel in Übersetzung | Raum-Temperatur Abscheidung von DLC-Schichten mit einer Ionenstrahlmethode, reaktivem Magnetronkathodenzerstäuben und gepulster Laser Dampfphasenabscheidung: Prozess-Design, Schichtstruktur und Schichteigenschaften |
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| Originalsprache | Englisch |
| Qualifikation | Dr.mont. |
| Betreuer/-in / Berater/-in |
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| Status | Veröffentlicht - 2009 |
