Pulsed laser decomposition of silicon containing carbon thin films
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Details
| Titel in Übersetzung | Pulsed laser decomposition of silicon containing carbon thin films |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 360-364 |
| Fachzeitschrift | Surface & coatings technology |
| Jahrgang | 177-178 |
| Status | Veröffentlicht - 2004 |
