Mechanical Properties of Atomic-Layer-Deposited Al2O3/Y2O3 Nanolaminate Films on Aluminum toward Protective Coatings
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Autoren
Organisationseinheiten
Externe Organisationseinheiten
- Empa -Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology, Thun
- INFICON AG
- ETH Zürich
- Berg- und Hüttenakademie Krakau
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 6285-6296 |
| Fachzeitschrift | ACS Applied Nano Materials |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 27 Mai 2022 |
