Linking erosion and sputter performance of a rotatable Mo target to microstructure and properties of the deposited thin films

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Autoren

Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	354-359
Fachzeitschrift	Surface & coatings technology
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2018.07.095
Status	Veröffentlicht - 2018