Linking erosion and sputter performance of a rotatable Mo target to microstructure and properties of the deposited films
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- Plansee SE, Reutte
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Status | Veröffentlicht - 2018 |
| Veranstaltung | ICMCTF - San Diego, USA / Vereinigte Staaten Dauer: 23 Apr. 2018 → 27 Apr. 2018 |
Konferenz
| Konferenz | ICMCTF |
|---|---|
| Land/Gebiet | USA / Vereinigte Staaten |
| Ort | San Diego |
| Zeitraum | 23/04/18 → 27/04/18 |
