Sputtertargets aus Reinmolybdän werden zur Beschichtung von Solaranlagen eingesetzt. Die Kühlung der Targets in den Industrieanlagen wird durch Kühlmittel mit unterschiedlichen Zusammensetzungen gewährleistet. Diese Kühlmedien bewirken einen Korrosionsangriff an Molybdän und an den verwendeten Bauteilwerkstoffen, wobei die gängigsten Werkstoffe Kupfer, Messing und Edelstahl sind. Im Rahmen dieser Arbeit soll geklärt werden, welches Kühlmittel bei welchen Temperaturen den geringsten Korrosionsangriff an den unterschiedlichen Werkstoffpaarungen (Mo-Kupfer, Mo-Messing, Mo-Edelstahl) hervorruft. Zusätzlich werden unterschiedliche gängige Inhibitoren den Kühlmitteln zugesetzt und deren Wirkung getestet. Auslagerungsversuche, Stromdichte-Potentialmessungen und Aufnahmen von Evans-Diagrammen wurden zur Klärung des Problems herangezogen. Es hat sich gezeigt, dass die Materialkombination von Molybdän mit Kupfer in Leitungswasser bei einer Temperatur von 40°C den stärksten korrosiven Angriff hervorruft. Durch Beimengung der Inhibitoren Nalco 1006A/B und AZ8104 zum Kühlmedium konnten die Korrosionsraten deutlich verringert werden.