Interface fracture and chemistry of a tungsten-based metallization on borophosphosilicate glass

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Autoren

Kompetenzzentrum Automobil- und Industrieelektronik GmbH
Infineon Technologies AG Austria, Villach
Erich-Schmid-Institut für Materialwissenschaft der Österreichischen Akademie der Wissenschaften
Ludwig-Maximilians-University
Max-Planck-Institut für Eisenforschung GmbH, Düsseldorf