Integrated approach to SiC crystal growth: Multiphysics modeling and chemistry assessment in PVT furnaces

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OriginalspracheEnglisch
StatusVeröffentlicht - 2024
VeranstaltungInternational Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM 2024) - North Carolina, USA / Vereinigte Staaten
Dauer: 29 Sept. 20244 Okt. 2024

Konferenz

KonferenzInternational Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM 2024)
Land/GebietUSA / Vereinigte Staaten
OrtNorth Carolina
Zeitraum29/09/244/10/24