Integrated approach to SiC crystal growth: Multiphysics modeling and chemistry assessment in PVT furnaces
Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › (peer-reviewed)
Autoren
Organisationseinheiten
Externe Organisationseinheiten
- EEMCO GmbH
Details
Originalsprache | Englisch |
---|---|
Status | Veröffentlicht - 2024 |
Veranstaltung | International Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM 2024) - North Carolina, USA / Vereinigte Staaten Dauer: 29 Sept. 2024 → 4 Okt. 2024 |
Konferenz
Konferenz | International Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM 2024) |
---|---|
Land/Gebiet | USA / Vereinigte Staaten |
Ort | North Carolina |
Zeitraum | 29/09/24 → 4/10/24 |