Imaging ultra thin layers with helium ion microscopy: Utilizing the channeling contrast mechanism

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Autoren

  • Vasilisa Veligura
  • Tijs F. Mocking
  • Antony George
  • Raoul van Gastel
  • Harold J. W. Zandvliet
  • Bene Poelsema

Organisationseinheiten

Details

Titel in ÜbersetzungImaging ultra thin layers with helium ion microscopy: Utilizing the channeling contrast mechanism
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)507-512
FachzeitschriftBeilstein journal of nanotechnology
Jahrgang3
DOIs
StatusVeröffentlicht - 2012