Imaging ultra thin layers with helium ion microscopy: Utilizing the channeling contrast mechanism
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Details
Titel in Übersetzung | Imaging ultra thin layers with helium ion microscopy: Utilizing the channeling contrast mechanism |
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Originalsprache | Englisch |
Seiten (von - bis) | 507-512 |
Fachzeitschrift | Beilstein journal of nanotechnology |
Jahrgang | 3 |
DOIs | |
Status | Veröffentlicht - 2012 |