Hydrogen content in amorphous SiN
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Autoren
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Details
| Titel in Übersetzung | Hydrogen content in amorphous SiN |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 49-52 |
| Fachzeitschrift | European semiconductor |
| Jahrgang | 22 |
| Status | Veröffentlicht - 2000 |
