Grid-assisted magnetron sputtering deposition of nitrogen graded TiN thin films
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Autoren
Organisationseinheiten
Externe Organisationseinheiten
- Institute of Energy and Nuclear Research (IPEN-CNEN/SP)
- Oak Ridge National Laboratory
- Universidade do Estado de Santa Catarina
- Universität von São Paulo
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Aufsatznummer | 864 |
| Seitenumfang | 8 |
| Fachzeitschrift | SN applied sciences |
| Jahrgang | 2020 |
| Ausgabenummer | 2 |
| DOIs | |
| Status | Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung. - 9 Apr. 2020 |
