Element- and charge-state-resolved ion energies in the cathodic arc plasma from composite AlCr cathodes in argon, nitrogen and oxygen atmospheres

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Autoren

Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	309-321
Fachzeitschrift	Surface & coatings technology
Jahrgang	272
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2015.03.047
Status	Veröffentlicht - 2015