Electrolytic copper deposition on tantalum in liquid ammonia based electrolytes at room temperature
Publikationen: Thesis / Studienabschlussarbeiten und Habilitationsschriften › Dissertation
Autoren
Organisationseinheiten
Abstract
Die elektrolytische Abscheidung von Kupfer auf Tantal aus Elektrolyten, welche auf flüssigen Ammoniak basieren, wurde untersucht. Dieser Prozessansatz wird als vorteilhaft gegenüber Prozessen, die aktuell in der Industrie eingesetzt werden, betrachtet. Beim Stand der Technik erfolgt die elektrolytische Kupferabscheidung aus einem wässrigen Elektrolyten auf einer dünnen Keimkupferschicht, welche auf das Tantal aufgebracht wird. Die Experimente wurden bei Raumtemperatur in Stickstoff-Atmosphäre (Handschuhbox) durchgeführt. Ein Arbeitsdruck von 14 Bar wurde typischerweise verwendet. Als Elektrodenkonfiguration wurde eine Drei-Elektroden-Anordnung gewählt. Als Arbeitselektroden wurden überwiegend selbst entwickelte Elektroden eingesetzt. Die Massentransport-Eigenschaften und die kinetischen Eigenschaften dieses elektrochemischen Systems wurden bestimmt. Klassische elektrochemische Methoden wie zyklische Voltammetrie und verschiedene Analysemethoden wie Transmissionselektronenmikroskopie und Elektronenenergieverlustspektroskopie wurden zur Charakterisierung des Systems beziehungsweise der Kupferschichten eingesetzt. Ein spezieller elektrochemischer Prozessschritt zur Konditionierung des Tantals wurde entwickelt.
Details
Titel in Übersetzung | Elektrolytische Kupferabscheidung auf Tantal in auf flüssigem Ammoniak basierten Elektrolyten bei Raumtemperatur |
---|---|
Originalsprache | Englisch |
Qualifikation | Dr.mont. |
Betreuer/-in / Berater/-in |
|
Status | Veröffentlicht - 2010 |