Effect of growth conditions on interface stability and thermophysical properties of sputtered Cu films on Si with and without WTi barrier layers
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
Autoren
Organisationseinheiten
Externe Organisationseinheiten
- Infineon Technologies Germany AG, Regensburg
- Kompetenzzentrum Automobil-und Industrie-Elektronik GmbH, Villach
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Aufsatznummer | 022201 |
| Seitenumfang | 11 |
| Fachzeitschrift | Journal of vacuum science & technology / B (JVST) |
| Jahrgang | 35.2017 |
| Ausgabenummer | 2 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 9 Feb. 2017 |
