Effect of crystal orientation on the hardness and strength of piezoelectric LiNbO3 substrates for microelectronic applications
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Autoren
Organisationseinheiten
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Aufsatznummer | 110306 |
| Fachzeitschrift | Materials and Design |
| Jahrgang | 213 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 2022 |
