Design of multilayer metallization to reduce mechanical loading: Effect of growth conditions on interface stability and thermo-mechanical properties of sputtered Cu films on Si with and without WTi barrier layers
Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung
Aktivitäten
- 2016
8th International Conference On Technological Advances Of Thin Films and Surface Coatings
Imane Souli (Redner/-in)
12 Juli 2016 → 15 Juli 2016Aktivität: Teilnahme an oder Organisation einer Veranstaltung › Konferenzteilnahme
