Design of multilayer metallization to reduce mechanical loading: Effect of growth conditions on interface stability and thermo-mechanical properties of sputtered Cu films on Si with and without WTi barrier layers

Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung

1 - 1 von 1Seitengröße: 10
Sortieren nach: Datum

Aktivitäten

  1. 2016

  2. 8th International Conference On Technological Advances Of Thin Films and Surface Coatings

    Imane Souli (Redner/-in)

    12 Juli 2016 → 15 Juli 2016

    Aktivität: Teilnahme an oder Organisation einer Veranstaltung › Konferenzteilnahme

Beziehungsdiagramm anzeigen

360 Link

Zeitschriften in BUGL

Vom selben Autor

Mehr zeigen