Die Mikrostruktur von nanokomposit PVD Schichten bestehend aus Metallkarbiden und amorphen wasserstoffstabilisiertem Kohlenstoff, und folglich die resultierenden mechanischen und tribologischen Eigenschaften, sind stark von den eingestellten Beschichtungsparametern, wie der Ionenergie, oder dem Ionen- und Atomflüssen abhängig.Diese Arbeit untersucht die Auswirkungen dieser Einflüsse im Zuge der Entwicklung eines nanokomposit CrCx/a-C:H Schichtsystems für tribologische Anwendungen, hergestellt mittels unbalanziertem Magnetronsputtern eines Cr Targets in Ar+CH4 Glimmentladungen und negativer DC bias Spannung. Weiters wurde die thermische Stabilität untersucht. Raman Spektroskopie und Röntgenphotoelektronenspektroskopie wurden zur Charakterisierung der Phasenzusammensetzung und der chemischen Bindungen eingesetzt. Die Resultate wurden mit den chemischen Zusammensetzungen aus der elastischen Rückstreudetektionsanalyse korreliert. Zusätzlich wurde die Mikrostruktur an ausgewählten Proben mittels hochauflösender Transmissionselektronenmikroskopie kombiniert mit Elektronenenergieverlustspektroskopie untersucht. Die nanokomposit Schichten können in harte, CrCx dominierte Schichten, hergestellt bei niedrigen CH4 Partial- zu Gesamtdruckverhältnis pCH4/pt