Correlation between fracture characteristics and valence electron concentration of sputtered Hf-C-N based thin films

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Autoren

Originalsprache	Englisch
Aufsatznummer	126212
Seitenumfang	8
Fachzeitschrift	Surface and Coatings Technology
Jahrgang	399.2020
Ausgabenummer	15 October
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2020.126212
Status	Veröffentlicht - 19 Juli 2020