Conductive Atomic-Force Microscopy Investigation of Nanostructures in Microelectronics

Publikationen: Beitrag in Buch/Bericht/Konferenzband › Beitrag in Buch/Sammelband › Forschung

Autoren

Titel in Übersetzung	Conductive Atomic-Force Microscopy Investigation of Nanostructures in Microelectronics
Originalsprache	Englisch
Titel	Scanning Probe Microscopy in Nanoscience and Nanotechnology 2
Seiten	691-721
DOIs	https://doi.org/10.1007/978-3-642-10497-8_23
Status	Veröffentlicht - 2011