Combined elastic strain and macroscopic stress characterization in polycrystalline Cu thin films

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Autoren

Titel in Übersetzung	Combined elastic strain and macroscopic stress characterization in polycrystalline Cu thin films
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	25-29
Fachzeitschrift	Powder diffraction
Jahrgang	21
DOIs	https://doi.org/10.1154/1.2040456
Status	Veröffentlicht - 2006