Combinatorial synthesis of Cr1−xAlxN and Ta1−xAlxN coatings using industrial scale co-sputtering

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Externe Organisationseinheiten

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Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)252-257
Seitenumfang6
FachzeitschriftSurface engineering
Jahrgang32
Ausgabenummer4
DOIs
StatusVeröffentlicht - 2016