Combinatorial refinement of thin-film microstructure, properties and process conditions: Iterative nanoscale search for self-assembled TiAlN nanolamellae

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Autoren

Originalsprache	undefiniert/unbekannt
Seiten (von - bis)	2217-2225
Seitenumfang	9
Fachzeitschrift	Journal of applied crystallography
Jahrgang	49
Ausgabenummer	6
DOIs	https://doi.org/10.1107/S1600576716017258
Status	Veröffentlicht - 2016