Chemistry and microstructure of PLD (Ti,Al)CxN1-x coatings deposited at room temperature
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Titel in Übersetzung | Chemistry and microstructure of PLD (Ti,Al)CxN1-x coatings deposited at room temperature |
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Originalsprache | Englisch |
Seiten (von - bis) | 1469-1471 |
Fachzeitschrift | Applied physics / A (Series A, Materials science & processing) |
Jahrgang | 79 |
Status | Veröffentlicht - 2004 |