Characterization of 6H-SiC surfaces after ion implantation and annealing using positron annihilation spectroscopy and atomic force microscopy

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Autoren

Titel in Übersetzung	Characterization of 6H-SiC surfaces after ion implantation and annealing using positron annihilation spectroscopy and atomic force microscopy
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	023523-1-023523-8
Fachzeitschrift	Journal of applied physics
Jahrgang	99
DOIs	https://doi.org/10.1063/1.2161940
Status	Veröffentlicht - 2006