Die vorliegende Arbeit untersucht die Präparationseinflüsse bei der Herstellung metallographischer Proben für Electron BackScatter Diffraction (EBSD) Messungen von naheutektoiden Stählen. Darüber hinaus wird die Möglichkeit der Perlitkoloniegrößenmessung mittels EBSD und Lichtmikroskopie behandelt. Als Präparationsverfahren wurden Vibrationspolieren, elektrolytisches Polieren, die Präparation mit Oxid Polier Suspension (OPS), Ionenabtragspräparation und Kombinationen dieser Verfahren einander gegenübergestellt. Die Anforderungen an die Probenoberfläche sind bei der EBSD-Messung sehr hoch, da die Informationen aus einer Tiefe im Bereich von wenigen Nanometern stammen. Außerdem stellt die Präparation von perlitischen Stählen aufgrund des mehrphasigen Gefüges eine Herausforderung dar. Die Untersuchungen haben gezeigt, dass die Präparation mittels OPS bzw. Ionenabtragspräparation sehr gute Ergebnisse hinsichtlich der Indizierungsrate für EBSD Messungen ergeben. Die höchste Indizierungsrate wurde durch eine Kombination aus einer Präparation mit OPS und anschließender Ionenabtragung erzielt. Für die Messung der Perlitkolonien mittels EBSD ist die Wahl des richtigen Missorientierungswinkels entscheidend. Ist dieser bestimmt, erfolgt die Messung der Perlitkolonieflächen automatisch durch ein Auswerteprogramm. Die Ergebnisse haben gezeigt, dass diese Messung eine Abschätzung der Perlitkoloniegrößenverteilung bieten kann. Lichtmikroskopische Untersuchungen haben sich für eine Abschätzung der Perlitkolonien als ungeeignet erwiesen, da die optische Auflösung hierbei zu gering ist um feine Strukturen wie Perlitlamellen bzw. Perlitkolonien sichtbar zu machen.