Behavior of SiO2 nanostrures under intense extreme ultraviolet illumination

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Autoren

Titel in Übersetzung	Behavior of SiO2 nanostrures under intense extreme ultraviolet illumination
Originalsprache	Englisch
Fachzeitschrift	Journal of applied physics
Jahrgang	97
DOIs	https://doi.org/10.1063/1.1904723
Status	Veröffentlicht - 2005