Backside metallization affects residual stress and bending strength of the recast layer in laser-diced Si
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
Autoren
Organisationseinheiten
Externe Organisationseinheiten
- Kompetenzzentrum Automobil- und Industrieelektronik GmbH
- Infineon Technologies AG Austria, Villach
- European Synchrotron Radiation Facility
- Universität Salzburg
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Aufsatznummer | 108579 |
| Fachzeitschrift | Materials Science in Semiconductor Processing |
| Jahrgang | 181 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - Okt. 2024 |
