Automatic etch pit detection and characterization in KOH etch images of 4H-SiC using deep learning

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OriginalspracheEnglisch
StatusVeröffentlicht - 2024
VeranstaltungInternational Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM 2024) - North Carolina, USA / Vereinigte Staaten
Dauer: 29 Sept. 20244 Okt. 2024

Konferenz

KonferenzInternational Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM 2024)
Land/GebietUSA / Vereinigte Staaten
OrtNorth Carolina
Zeitraum29/09/244/10/24