Annealing effects on the film stress and adhesion of tungsten-titanium barrier layers

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Autoren

Kompetenzzentrum Automobil- und Industrieelektronik GmbH
Erich-Schmid-Institut für Materialwissenschaft der Österreichischen Akademie der Wissenschaften
Helmholtz-Zentrum Berlin
Infineon Technologies AG Austria, Villach

Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	376-381
Seitenumfang	6
Fachzeitschrift	Surface & coatings technology
Jahrgang	332.2017
Ausgabenummer	25 December
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2017.07.087
Status	Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung. - 18 Sept. 2017