Accelerated thermo-mechanical fatigue of copper metallizations studied by pulsed laser heating

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Autoren

Erich-Schmid-Institut für Materialwissenschaft der Österreichischen Akademie der Wissenschaften

Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	110-118
Seitenumfang	9
Fachzeitschrift	Microelectronic engineering
Jahrgang	167.2017
Ausgabenummer	5 January
Frühes Online-Datum	16 Dez. 2016
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.mee.2016.08.004
Status	Veröffentlicht - 5 Jan. 2017