Materials Science in Semiconductor Processing, 1369-8001
Fachzeitschrift: Zeitschrift
| ISSNs | 1369-8001 |
|---|
1 - 1 von 1Seitengröße: 10
Publikationen
- 2024
- Veröffentlicht
Backside metallization affects residual stress and bending strength of the recast layer in laser-diced Si
Ziegelwanger, T., Reisinger, M., Matoy, K., Medjahed, A. A., Zalesak, J., Gruber, M., Meindlhumer, M. & Keckes, J., Okt. 2024, in: Materials Science in Semiconductor Processing. 181, 108579.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
