European semiconductor, 0957-5685
Fachzeitschrift: Zeitschrift
ISSNs | 0957-5685 |
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Publikationen
- 2000
- Veröffentlicht
Hydrogen content in amorphous SiN
Jonak, I. & Kuchar, F., 2000, in: European semiconductor. 22, S. 49-52Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)